半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
的项目题材
该工业企业公司地处河北省省深圳市,主要的任职高性价比半导体技术心片的打包封装测试软件,日排卸废出水量约200吨。仍然工作时候中施用多类化学上化剂,化工废水成份繁琐,带有高密度铜、镍等天价属同时环氧漆树脂材料、光刻胶等有机化学环境挥发性有机物。工业企业公司固有加工生活设施就没有办法提供较新的排卸标准,急要更新升级改革。
污水成份及的来源
真空镀膜化工废水
:主要来原于电子器件引脚电镀工艺工艺,内含铜、镍、锡等高价属阴阳离子,pH值振幅大。
有机的生活污水
:主要是源于芯片封装胶凝固、光刻技术,包含的环氧防锈漆硅胶粘合剂、异丙醇、甲苯等有机的强酸强碱。
酸碱性废气
:呈现于晶圆擦洗和蚀刻工艺技术,富含氢脱色钠、硫酸钠、氢脱色钠等。
加工处理制作工艺程序
预治理阶段中
酸碱度采和
:完成投加药剂操作系统调理pH至6-9,以免下一步加工处理设配灼伤。
混泥土积累
:污泥脱水PAC(整合氯化铝)和PAM(聚丙烯塑料酰胺),除去悬浮物物和环节血本属。
核心思想解决过程
中高级阳极氧化
:进行Fenton微生物培养基(H₂O₂+Fe²⁺)细化难溶解设计物,COD弄掉率达70%以下。
膜过滤器
:超滤膜(UF)+超滤性(RO)组合构成加工过程,进三步挪作他用高价属和可溶性高,溶于水的性有机会物。
深入处里时期
化合物交換
:有能造成铜、镍阴阳离子,狠抓出水出水天价属含碳量压低0.5mg/L。
活性酶类炭吸
:身为决定性维护,删去残存少量有机会物。
以后功能
经净化处理后,冒水水的硬度达到了《微电子产业水感染物进行排放规定》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,工业废水处理率提高自己至60%,每人每年减少纯净水投资成本约80百万元。