半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
投资项目情况
该客户主为世界十大领跑的半导测封客户主,应用于珠四角地方,包括来顶级电子器件的划区和封装类型软件测试。是由于本市环保型符合要求从严,客户主判断进行废水治疗方法零尾气排放标准投入资金项目工程。投入资金项目于2030年启动服务器,202四年6月建造投建,治疗企业规模为200吨/日,总投入资金约2000万块人民币。
生活污水组分及原因
本次目的意义小学划片废水处理工艺存在一下特殊性:
高渗透压氟化物,主耍出于晶圆打磨后的冲洗工艺,氟亚铁离子渗透压万代高达150-200mg/L
包含有纳米级级硅粉颗粒物,粒度多在100-500nm直接
有机酸负荷什么意思较高,COD在500-800mg/L
包含的进样器高价属如铅、镉等
电阻率高,通常情况下在2000-3000μS/cm
外理加工注意事项
为构建零排卸方向,加工制作工艺 构思侧重于考虑到废气等级分类自身和成本回笼:
电镀废水分级整理设备
:将含氟电镀污废水 与某个电镀污废水 连在一起汇集
生物沉积除氟
:进行两极钙盐乳浊液法,加上提高效率乳浊液池
初级脱色治疗
:老化离子液体被氧化分解难清理有机酸物
膜精炼机系统
:运用DTRO碟管式反参透,精浓3的倍数为10倍
多效蒸发晶体
:MVR机制饱和蒸汽再解压缩化掉器除理浓水
常温、干燥软件
:将沉淀盐缺水后对于工业化副设备外售
净化处理感觉
模式自动运行数值屏幕上显示:
氟化物快速清理率>99.9%,冒水氟阳离子<1mg/L
COD总剔除率>98%,水流COD<20mg/L
自然资源的收售率>95%,仅形成极富结晶体盐
每次可再利用高质量工业废水处理水约2万吨
凝结盐饱和度提升实业级的标准,保证 教育秸秆综合采取采取
的项目仅仅改变了废水处理零尾气排放,还按照资原利用创作了约80万美金/年的加倍收益的。