该晶圆研制厂设在华东省市省市,主要加工方式85英寸光电器件晶圆,日访问量废水处理方法排卸量约800吨。主要是因为加工方式的过程中在使用许多氢佛酸来进行晶圆蚀刻,使得废水处理方法中氟化物浓度值达200-300mg/L,远超一个国家排卸规范(10mg/L下列)。
工业废水部分及因素
废气具体来源于多个流程:
晶圆蚀刻工艺程序
:含高氧浓度氟化物(HF)、硝酸钠及几瓶血本属
有机化学机械化打蜡 (CMP)污水
:含微米级硅科粒、可挥发络合剂
生产设备除垢废液
:含异丙醇、高锰酸盐指数等生产物
处里加工制作工艺 步奏
用到"化学物质奠定+混疑奠定+深度.过滤器"三级职业资格证书加工软件:
七级处里
:加药系统氯化钙和氢氧化反应钙,造成氟化钙沉淀出的,氟化物出掉率达85%
2级解决
:使用PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),祛除电解质溶液态污染问题物
三级职业资格证书外理
:能够多有机溶剂净化器和活性氧炭降解,水流氟化物溶液浓度维持在8mg/L下类
要素机器涉及到:pH自动化调整系统软件、斜管奠定池、板框压滤设备(污泥干化出现脱水)。
进而郊果
品牌加载四年监测站数据分析信息显示:
氟化物年均溶液浓度:7.2mg/L(高出国家地区规范)
COD彻底清除率:92%
污泥处理水分含量率:≤65%
年再采取氟化钙副企业产品约150吨,保证教育减量化采取