某半导加工制造客户因晶圆清洁流程诞生含氨废污水，发电量200吨/天。废污河中除化学需氧量外还包含的氟化物和进样器高价属，净化处理高难度大。当地政府排放规范规范标准规范追求化学需氧量＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废污水含量及來源 晶圆清洁工作废渣（主要的种类）：含化学需氧量200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工艺流程废渣：含进样器铜、镍等血本属，pH值下跌大 CMP考虑污废水 ：含硅粒状及高锰酸盐指数 除理的工艺过程 选择"物理化学乳浊液+膜提取+折点氯化"乐队组合工序： 预操作 ：污泥脱水CaCl2除氟，把控pH在7.5-8. 超滤膜程序 ：快速清理0.01μm上面颗粒状物 反渗浓缩液 ：将挥发酚浓缩咖啡至1000mg/L之内 折点氯化 ：小于保持氯添加量，将氯离子转为为离氮气 阴阳离子交流 ：切实保障天价属考核标准 之后功效 氯离子稳定性＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 高价属量底于在线检测限 水使用率达75% 污泥处理引发量极大减少40%