半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体芯片品质首测服务设施涉重生活污水——MVR强制性要求再循环零排业务
产品视频背景
半导舒适测封工作,总量150立米米/天,是正式启动半导测封配合涉重化工废水处理工艺零排工作。测封教学环节的镀镍、镀铜、引线架构除垢会有含镍含铜化工废水处理工艺,园区规划要"无尾水外排",产水全造纸废水处理于产线。
水源特点与瓶颈问题
生产废水以含镍主导(盐浓度10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH震荡大(2–12),有着光刻胶留下的少许有机肥料物。测封厂场景紧,规范正确处理设备拆迁赔偿小;零排后果着浓水没有土石方工程不要,一定本地化减压蒸馏析出闭环控制。
补救方法的路线
整体的走"分质采集而来 → 预操作除杂 → 药剂学结晶除镍 → 活性炭过滤 → UF+有级RO → MVR強制循环往复多效蒸发 → 空气冷却水回收":
含镍线先调pH到10–11,添加氢氧化反应物钠制成Ni(OH)₂水解,另加塑炼钠层次气体吸附残存镍(塑炼镍Ksp比氢氧化反应物镍更小,就可以把镍压到0.1毫克/升以下的);
奠定出水出水经多物料滤过清洁+保卫滤过清洁后进UF,再进第一RO,产水进行回产线擦拭;
RO浓水(含盐+残留物血本属)进MVR二次无限循环系统汽化器,二次无限循环系统能扛高含盐结渣,汽化器自己准备在线播放除垢,不可以堵;
MVR冷凝器水来到工业废水处理大水池,蒸发掉残液委外燃烧或当做垃圾救治,另一园区无液体状态外排。
重点装备优势详细说明
MVR直接间歇相对平凡降膜挥发,间歇流动速度高、制热面难以结镍盐/碳酸盐垢,最适合公测这"用水量并不大但水污染杂"的环境;一体机化撬装设汁占地面比过去挥发塘+多效挥发设计方案小60%上述;臭味侧配置菌物滤池,把自动调节池和污泥处理间的臭味采集而来后挥发成CO₂和水,以防公测厂挨着企业办公场所的有异味举报。
治理实际效果与整体
水流镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,具有《真空镀膜污染破坏物污染物规范》表三;全部150万每立方/天产水循环于测封产线擦洗,替换等量新鲜感水;垃圾(挥发残液+污泥干化)量比传统意义"沉积+污染物"模型减约70%。对富士康侧,测封业务优质审批卡点被揍通;